OKAMOTO PNX1200/PNX1200Sファイナルポリッシャー
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    OKAMOTO PNX1200/PNX1200Sファイナルポリッシャー特長


    450mm対応のため、300mmファイナルポリッシャーのベストセラーマシンPNX332Bとは

    全く異なるユニークな装置構成。

    3テーブルあるポリッシュステージで、中研磨から仕上げ研磨まで6枚を同時研磨。

    ポリッシュ取り代量の多い再生ウエハや貫通電極(TSV)プロセスにも最適。

    SPP1200Sはマニュアル式1テーブルタイプとなります。





    OKAMOTO PNX1200/PNX1200Sファイナルポリッシャー仕様: 


    最大加工径

    Ф450mm

    定盤径

    Ф1200mm

    同時研磨枚数

    2枚

    定盤回転数

    10~48min-1

    本体質量

    7500kg


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