OKAMOTO PNX1200/PNX1200Sファイナルポリッシャー特長:
450mm対応のため、300mmファイナルポリッシャーのベストセラーマシンPNX332Bとは
全く異なるユニークな装置構成。
3テーブルあるポリッシュステージで、中研磨から仕上げ研磨まで6枚を同時研磨。
ポリッシュ取り代量の多い再生ウエハや貫通電極(TSV)プロセスにも最適。
SPP1200Sはマニュアル式1テーブルタイプとなります。
OKAMOTO PNX1200/PNX1200Sファイナルポリッシャー仕様:
最大加工径
Ф450mm
定盤径
Ф1200mm
同時研磨枚数
2枚
定盤回転数
10~48min-1
本体質量
7500kg
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