NAGOYA NXI-37003DX线自动检查机
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    Nagoya名古屋NXI-3700半导体级3DX线超高解析度自动检查机特点简介:

    · 自动检查功能 Through hole中铜电镀检查 C4焊锡球检查 

    · 开放型纳米焦点X线管 管电压:20kV-160kV 最小分辨率:0.25μm

    · FPD 600万像素/1.1.800万像素 分辨率:0.25 μm-10μm/0.25-23.5μm

    · 倾斜式CT方式



    Nagoya名古屋NXI-3700半导体级3DX线超高解析度自动检查机规格参数:


    项目

    参数
    对应工件尺寸W50×L50~W515×L610mm
    检查工件领域W475×L570mm
    对应工件厚度0.1-0.3mm
    对应工件重量2.0kg以下
    部品高度

    基板上40mm

    X线发生管开放型纳米焦点
    管电压20-160kv
    管电流0-200μA
    最小分辨率0.25μm
    X线检出器垂直:FPD 600万像素/倾斜:1.1.800万像素
    分辨率垂直:0.25-10μm/倾斜:0.25-2.5μm
    空气压力0.5MPa
    电源电压AC 220V±10%,单相50/60Hz
    消费电压10kVA以下
    使用环境条件
    周围温度22℃±2℃
    湿度50%±10%RH (无结露)
    床振动振幅2μm以下
    X线泄露量低于0.5μSv/h
    外形尺寸W1780×D2530×H2000mm
    重量约7500kg


    Nagoya在线型3DX线自动检查设备NXI-3700可选功能

    · 通过系统传输获得PC 自动检查时所获取断层图片,对于不良部品可以进行确认并编辑

    · 3D合成软件可对X线的断层图片进行编辑并合成


    NXI-3700堪称世界最高等级性能3D CT X-ray

    超高性能装置配合独自软件实现最高境界影像

    纳米级X线管(最小分辨率:0.25μm)配合高感度1.1.检查器(分辨率:0.25-2.5μm),高画质,无与伦比

    配合全新图像变化率软件,获取独一无二X线图像


    NXI-3700采用高重复测试精度确保数据准确

    全新设计刚性结构配合高精细线性电机,配合全效补充软件,满足高速度,广范围移动定位精度

    独自本体气囊设计,有效避免外界影响,实现世界最高等级重复测试精度


    NXI-3700可对应大型基板

    独有倾斜式CT机构,配合515×610mm大型基板,可以满足任意位置CT扫描需求

    检测台上另附带真空吸附功能,满足最大100μm包括柔性基板在内安全定位,保证有效精确CT扫描


    高精度高安定性自动检查系统

    独自开发自动校正系统,自动高度检查补正逻辑,YXZ补正逻辑实现避免检测中的误差,还原真实影像,实现最高等级精度检测,满足半导体业界需求


    Though hole中铜电镀检查 

    对于基板中通孔(Though hole,TH)中铜电镀及充填状况进行自动确认。数μm的void 缺陷亦可自动检出

    C4焊锡球检查 通过对断层图像予以解析,自动识别焊接状况,锡球形状及void等不良

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