JEL SWCR3160CS防水3轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂
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    SWCR3160CS防水3轴圆柱坐标型机械晶圆搬运机械手臂特点: 


    防水3轴圆柱坐标型机械手臂SWCR3000系列(配备300mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构)

    在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下,能够在酸性,碱性环境下搬运半导体晶圆

    手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性

    手臂关节部位防水结构使用V型密封圈

    零件之间的结合面采用Viton材质的密封条

    Z轴的防水结构可以使用蛇腹管

    配备动作监视器

    控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

    全轴采用2相步进电机

    S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

    晶圆固定方式: 真空吸附式,下托式,边缘夹持式

    可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供手指


    产品型号列表


    产品型号 

    升降轴最大行程

    SWCR3160CS-200-PM

    200mm

    SWCR3160CS-300-PM

    300mm





    防水3轴圆柱坐标型机械晶圆搬运机械手臂SWCR3160CS基本参数


    使用环境

    洁净间内的大气环境

    手臂

    单臂

    到达距离

    312mm (手臂第3关节中心到达距离)

    升降轴最大行程

    200mm / 300mm

    可搬运质量

    3kg以下 (手臂第3关节处基准)




    如需详细产品参数 请联系我们

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