致力于引进国外高端制造设备、精密检测仪器、先进生产材料为中国电子电器生产企业服务，以助于电子制造企业稳定提高产品品质。
真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3260特点： |
真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系。适用于真空腔室内的晶圆搬运 |
相比SVHR系列机械手臂，可搬运质量提升2倍，具有较好的性价比优势 |
另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性，方便客户对设备进行升级改造 |
机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm |
手臂关节处使用磁流体密封装置 |
真空密封：磁流体密封装置和波纹管 |
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 |
全轴采用2相步进电机 |
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 |
可以选配2相步进电机规格 |
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 |
晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式 |
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指 |
产品型号列表 |
产品型号 | 升降轴最大行程 |
SVCR3260-020-PM | 20mm |
SVCR3260-040-PM | 40mm |
SVCR3260真空3轴圆柱坐标型机械手臂基本参数： |
使用环境 | 真空部：温度 15℃～50℃ 驱动结构内部：洁净间内的大气环境 温度 15℃～40℃ |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 520mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴最大行程 | 20mm / 40mm |
可搬运质量 | 2kg (手臂第3关节处基准) |
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