JEL STCR4160S-F带翻转机构的4轴圆柱坐标洁净机械手臂
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    带翻转机构的4轴圆柱坐标洁净机械手臂STCR4160S-F特点: 


    使用了JEL制造的伯努利原理机械手指,可吸附减薄晶圆

    具有较高的刚性,手臂的第三关节可以承受3kg的负载(包括手指和搬运物)

    采用了步进电机驱动,能够有效地降低耗电量有利于节能

    双机械手指结构,能够缩短晶圆的交换时间

    双臂带翻转机构的

    可以根据客户设备的布局,选择法兰固定方式或者底座固定方式


    带翻转机构的4轴圆柱坐标洁净机械手臂STCR4160S-F基本参数


    使用环境

    洁净间内的大气环境

    手臂

    双臂

    到达距离

    315mm (手臂第3关节中心到达距离)

    升降轴最大行程

    200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm

    可搬运质量

    3kg (手臂第3关节处基准)




    如需详细产品参数 请联系我们

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