JEL SSCR3090S小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂
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    小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S特点: 


    超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列

    适用于半导体生产设备内部,检测设备等小尺寸晶圆的搬运,通过优化机械手臂的空间尺寸,

    有利于实现设备的小型化

    机械手臂标准臂长:90mm

    同SSCR2090S-PM兼容,连杆式手臂,可以定制没有Z轴模块的机械手臂

    配备动作监视器

    控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

    全轴使用2相步进电机

    S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

    晶圆固定方式:真空吸附式,下托式

    手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

    可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供手指


    小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S基本参数


    使用环境

    洁净间内的大气环境

    手臂

    单臂

    到达距离

    175mm (手臂第3关节中心到达距离)

    升降轴最大行程

    150mm

    可搬运质量

    0.1kg (只包含被搬运物体)(手臂第3关节处基准)




    如需详细产品参数 请联系我们

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