致力于引进国外高端制造设备、精密检测仪器、先进生产材料为中国电子电器生产企业服务，以助于电子制造企业稳定提高产品品质。
3轴圆柱坐标洁净机械手臂SCR3160CS特点： |
超洁净无尘间用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SCR3000CS系列 |
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运 |
机械手臂标准臂长: 100mm, 130mm, 160mm, 200mm |
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 |
全轴采用2相步进电机 |
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板 |
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 |
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 |
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指 |
3轴圆柱坐标洁净机械手臂SCR3160CS基本参数： |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 340mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴最大行程 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm |
可搬运质量 | 3kg (手臂第3关节处基准) |
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