致力于引进国外高端制造设备、精密检测仪器、先进生产材料为中国电子电器生产企业服务，以助于电子制造企业稳定提高产品品质。
SCR3100S小径晶圆用4轴圆柱坐标洁净机械手臂特点： |
适用于超级洁净间要求的3轴圆柱坐标洁净机械手臂SCR3100S系列 |
适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸， 有利于实现设备的小型化 |
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装0.1µm级过滤器 |
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 |
全轴采用2相步进电机 |
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 |
晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式 |
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 |
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指 |
SCR3100S小径晶圆用4轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数： |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 195mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴最大行程 | 200mm / 300mm |
可搬运质量 | 0.5kg (手臂第3关节处基准) |
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