JEL SCR3100S小径晶圆用4轴圆柱坐标洁净机械手臂
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    SCR3100S小径晶圆用4轴圆柱坐标洁净机械手臂特点: 


    适用于超级洁净间要求的3轴圆柱坐标洁净机械手臂SCR3100S系列

    适用于半导体生产设备内部,检测设备等小尺寸晶圆的搬运,通过优化机械手臂的空间尺寸,

    有利于实现设备的小型化

    提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装0.1µm级过滤器

    适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

    配备动作监视器

    控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

    全轴采用2相步进电机

    S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

    晶圆固定方式: 真空吸附式,下托式,边缘夹持式

    手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

    可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供手指


    SCR3100S小径晶圆用4轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数


    使用环境

    洁净间内的大气环境

    手臂

    单臂

    到达距离

    195mm (手臂第3关节中心到达距离)

    升降轴最大行程

    200mm / 300mm

    可搬运质量

    0.5kg (手臂第3关节处基准)




    如需详细产品参数 请联系我们

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