JEL MCR3160C3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂
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    3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂MCR3160C特点: 


    超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列

    适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运

    全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求

    比MHR系列具有更好的性价比优势

    机械手臂标准臂长:160mm, 200mm

    适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

    配备动作监视器

    控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

    全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

    S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

    晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式

    手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

    可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供手指


    3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂MCR3160C基本参数


    使用环境

    洁净间内的大气环境

    手臂

    单臂

    到达距离

    400mm (手臂第3关节中心到达距离)

    升降轴最大行程

    300mm / 400mm / 500mm

    可搬运质量

    4kg (手臂第3关节处基准)




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