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5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5330-060-AM特点： |
5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列 |
实现了下降价格，但是也可以维持以前的GTVHR5000系统的机能，功能 |
能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局 |
通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于减小真空腔室的内部容积 |
非常适合inline设备 |
机械手臂标准臂长：280mm, 330mm |
手臂关节处使用磁流体密封装置 |
真空密封：磁流体密封装置以及波纹管 |
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器 |
双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 |
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机 |
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 |
手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 |
晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式，利用O型胶圈的摩擦力来保持位置 |
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指 |
5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5330-060-AM基本参数： |
使用环境 | 洁净间内的大气：温度 15°C-40°C |
工艺室温度 | 最大450°C |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 635mm (手臂第3关节中心基准) |
升降轴最大行程 | 60mm |
可搬运质量 | 4kg (手臂第3关节处基准) |
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