JEL GTVCR5330-060-AM5轴真空水平多关节型洁净机械手臂
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    5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5330-060-AM特点: 


    5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列

    实现了下降价格,但是也可以维持以前的GTVHR5000系统的机能,功能

    能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局,能够灵活地适应不同类型设备的多种布局

    通过优化机械手臂的空间尺寸,有利于减小真空腔室的内部容积

    非常适合inline设备

    机械手臂标准臂长:280mm, 330mm

    手臂关节处使用磁流体密封装置

    真空密封:磁流体密封装置以及波纹管

    提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5µm级过滤器

    双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间

    配备动作监视器

    控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

    全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

    S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

    手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

    晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式,利用O型胶圈的摩擦力来保持位置

    可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供手指


    5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5330-060-AM基本参数


    使用环境

    洁净间内的大气:温度 15°C-40°C

    工艺室温度

    最大450°C

    手臂

    单臂

    到达距离

    635mm (手臂第3关节中心基准)

    升降轴最大行程

    60mm

    可搬运质量

    4kg (手臂第3关节处基准)




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