JEL GTCR5280-300-AM5轴水平多关节型洁净机械手臂
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    5轴水平多关节型洁净机械手臂GTCR5280-300-AM特点: 


    可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列

    单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能

    适用于300mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运

    机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm

    机械手臂可以单独对应2个FOUP(210mm臂长)

    或者3个FOUP(280mm臂长)

    双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间

    适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

    配备动作监视器

    控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

    全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

    通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化

    能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

    晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式

    手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

    可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供手指


    5轴水平多关节型洁净机械手臂GTCR5280-300-AM基本参数


    使用环境

    洁净间内的大气环境

    手臂

    单臂

    到达距离

    553mm (手臂第3关节中心到达距离)

    升降轴最大行程

    300mm / 400mm / 500mm

    可搬运质量

    4kg (手臂第3关节处基准)




    如需详细产品参数 请联系我们

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