致力于引进国外高端制造设备、精密检测仪器、先进生产材料为中国电子电器生产企业服务，以助于电子制造企业稳定提高产品品质。
5轴水平多关节型洁净机械手臂GTCR5280-300-AM特点： |
可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列 |
单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能 |
适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运 |
机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm |
机械手臂可以单独对应2个FOUP（210mm臂长） |
或者3个FOUP（280mm臂长） |
双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 |
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 |
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机 |
通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化 |
能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 |
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 |
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 |
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指 |
5轴水平多关节型洁净机械手臂GTCR5280-300-AM基本参数： |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 553mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴最大行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬运质量 | 4kg (手臂第3关节处基准) |
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