JEL GCR4280-300-AM4轴水平多关节型洁净机械手臂
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    4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4280-300-AM特点: 


    超洁净间用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列

    适用于支持300mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运

    机械手臂可以单独对应3个FOUP

    适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

    配备动作监视器

    全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

    S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运玻璃基板

    手指材质:CFRP(碳纤维), 铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

    可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供手指


    产品型号列表



    产品型号 

    升降轴最大行程

    GCR4280-300-AM

    300mm




    4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4280基本参数


    使用环境

    洁净间内的大气环境

    手臂

    单臂

    到达距离

    553mm (手臂第3关节中心到达距离)

    升降轴最大行程

    300mm

    可搬运质量

    小于4kg (手臂第3关节处基准)




    如需详细产品参数 请联系我们

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