JEL GCR42104轴水平多关节型洁净机械手臂
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    4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4210特点: 


    超洁净间用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列

    适用于支持300mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运

    机械手臂标准臂长:210mm, 280mm

    机械手臂可以单独对应2个FOUP

    适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

    配备动作监视器

    控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

    全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

    S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运玻璃基板

    AC伺服电机的采用以及,对运动轨迹的优化实现了搬运动作的高速化

    比GHR4000类型速度快了1.8倍

    晶圆固定方式:真空吸附式, 下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式

    手指材质:CFRP(碳纤维), 铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

    可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供手指


    产品型号列表



    产品型号 

    升降轴最大行程

    GCR4210-300-AM

    300mm

    GCR4210-320-AM

    320mm

    GCR4210-500-AM

    500mm




    4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4210基本参数


    使用环境

    洁净间内的大气环境

    手臂

    单臂

    到达距离

    400mm (手臂第3关节中心到达距离)

    升降轴最大行程

    300mm / 400mm / 500mm

    可搬运质量

    4kg (手臂第3关节处基准)




    如需详细产品参数 请联系我们

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