致力于引进国外高端制造设备、精密检测仪器、先进生产材料为中国电子电器生产企业服务，以助于电子制造企业稳定提高产品品质。
4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4210特点： |
超洁净间用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列 |
适用于支持300mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运 |
机械手臂标准臂长:210mm, 280mm |
机械手臂可以单独对应2个FOUP |
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 |
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机 |
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板 |
AC伺服电机的采用以及，对运动轨迹的优化实现了搬运动作的高速化 |
比GHR4000类型速度快了1.8倍 |
晶圆固定方式：真空吸附式, 下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 |
手指材质：CFRP（碳纤维), 铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 |
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指 |
产品型号列表 |
产品型号 | 升降轴最大行程 |
GCR4210-300-AM | 300mm |
GCR4210-320-AM | 320mm |
GCR4210-500-AM | 500mm |
4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4210基本参数： |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 400mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴最大行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬运质量 | 4kg (手臂第3关节处基准) |
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