晶圆贴膜机 STK-7150 落地式高级半自动切割贴膜机特点:
落地式,适用8-12寸硅晶圆,碳化硅,砷化镓,蓝宝石,玻璃等材质
自动切割刀,自动切割膜,自动收废膜,
自动拉膜,自动贴膜,可贴空环/Frame
晶圆贴膜机 STK-7150 落地式高级半自动切割贴膜机性能:
晶圆收益
≥99.9%
撕膜质量
没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡)
每小时产能
≥ 70片晶圆
MTBF
>168小时
MTTR
<1小时
停机时间
<3%
更换产品时间
≤ 10分钟
如需详细资料,请联系我们。
晶圆贴膜机 STK-7150 落地式高级半自动切割贴膜机规格参数:
晶圆直径
8”、12”晶圆
晶圆厚度
100 ~750微米
晶圆种类
硅, 砷化镓或其它材料
膜种类
蓝膜或者UV膜(粘着力≤8N/20mm)
宽度:300~400毫米
长度:100米
厚度:0.05~0.2毫米
晶圆承载环
8”、12”DISCO标准
贴膜原理
防静电滚轮贴膜,滚轮压力可调
晶圆台盘
通用(一体式)特氟隆防静电涂层接触式台盘
台盘可加热:室温~100℃
台盘手动升降
装卸方式
晶圆/承载环手动放置与取出
防静电控制
防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子风扇
切割系统
环型切刀用于8”、12”DISCO承载环
废膜处理
自动收取
贴膜精度
X-Y:±0.5mm;θ:±0.5°
定位方式
晶圆气动销定位/承载环弹簧销定位
控制单元
基于PLC 控制,带10.1”触摸屏
安全防护
配置光帘保护和紧急停机按钮
电源电压
单相交流电220V,16A
压缩空气
5公斤清洁干燥压缩空气,流量100升/分钟
机器外壳
白色喷塑金属外壳
体积
850 毫米(宽)*1450 毫米(深)*1700 毫米(不含灯高)
净重
485公斤
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