SINTAIKE STK-7050落地式高级半自动晶圆切割贴膜机
STK-7050 落地式半自动晶圆切割贴膜机特点: |
落地式高级 晶圆切割膜贴膜机 |
自动拉膜、贴膜、切膜、收废膜,收隔离纸。 |
贴膜无气泡,可贴空Ring |
STK-7050 落地式半自动晶圆切割贴膜机性能: |
晶圆收益 | ≥99.9% |
撕膜质量 | 没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡) |
每小时产能 | ≥ 75片晶圆 |
MTBF | >168小时 |
MTTR | <1小时 |
停机时间 | <3% |
更换产品时间 | ≤ 10分钟 |
如需详细资料,请联系我们。
STK-7050 落地式版自动晶圆切割贴膜机规格参数:
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晶圆尺寸 | 4”- 8”晶圆 |
晶圆厚度 | 100 ~750微米 |
晶圆种类 | 硅, 砷化镓或其它材料 |
胶膜种类 | 蓝膜或者UV膜(粘着力≤8N/20mm) 宽度:210~300毫米 长度:100米 厚度:0.05~0.2毫米 |
晶圆承载环 | 6”、8”DISCO标准 |
贴膜原理 | 防静电滚轮贴膜,滚轮压力可调 |
晶圆台盘 | 通用(一体式)特氟隆防静电涂层接触式台盘 台盘可加热:室温~100℃ 台盘手动升降 |
装卸方式 | 晶圆/承载环手动放置与取出 |
防静电控制 | 防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子风扇 |
切割系统 | 环型切刀用于6”、8”DISCO承载环 |
废膜处理 | 自动收取 |
贴膜精度 | X-Y:±0.5mm;θ:±0.5° |
定位方式 | 晶圆气动销定位/承载环弹簧销定位 |
控制单元 | 基于PLC 控制,带10.1”触摸屏 |
安全防护 | 配置光帘保护和紧急停机按钮 |
电源电压 | 单相交流电220V,16A |
压缩空气 | 5公斤清洁干燥压缩空气,流量100升/分钟 |
机器外壳 | 白色喷塑金属外壳 |
体积 | 850 毫米(宽)*1450 毫米(深)*1700 毫米(不含灯高) |
净重 | 460公斤 |