晶圆直径: | 4”- 8”晶圆 |
晶圆厚度: | 300~750 微米 |
晶圆种类: | 硅, 砷化镓或其它材料 |
胶膜种类 | 蓝膜或者 UV 膜(粘着力≤8N/20mm) 宽度:120~240毫米 长度:100米 厚度:0.05~0.2毫米 |
贴膜原理 | 防静电滚轮贴膜,滚轮压力可调 |
晶圆台盘 | 通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘 台盘可加热:室温~100℃ 台盘手动升降 |
装卸方式 | 晶圆手动放置与取出 |
防静电控制 | 防静电特氟龙涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子风扇 |
切割系统 | 自动切割刀, 8”无切割V notch功能,切割刀可加热:室温~120℃ 切割刀寿命管理 |
废膜处理 | 自动收取 |
贴膜精度 | X-Y:±0.5mm;θ:±0.5° |
晶圆定位 | 气动销定位 |
控制单元 | 基于 PLC 控制,10.1”触摸屏 |
安全防护 | 配置安全光帘和紧急停机开关 |
电源电压 | 单相交流电 220V,16A |
压缩空气 | 压缩空气:5公斤清洁干燥压缩空气,流量100升/分钟 |
体积 | 850 毫米(宽)*1450 毫米(深)*1700 毫米(不含灯高) |
净重 | 450 公斤 |