晶圆尺寸 | 4”- 8”晶圆 |
晶圆厚度 | 300 ~750微米 |
晶圆种类 | 硅, 砷化镓或其它材料 |
胶膜种类 | 蓝膜或者UV膜(粘着力≤8N/20mm) 宽度:120~240毫米 长度:100米 厚度:0.05~0.2毫米 |
贴膜原理 | 防静电滚轮贴膜,滚轮压力可调 |
贴膜动作 | 自动拉膜和贴膜 |
晶圆台盘 | 通用(一体式)特氟隆防静电涂层接触式台盘 台盘可加热:室温~100℃ 台盘手动升降 |
装卸方式 | 晶圆手动放置与取出 |
防静电控制 | 防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子风扇 |
切割系统 | 直切刀和环切刀,8”无切割V notch功能,切割刀可加热:室温~120℃ |
晶圆定位 | 气动销定位 |
控制单元 | 基于PLC 控制,并带5.7”触摸屏 |
安全防护 | 配置紧急停机按钮 |
电源电压 | 相交流电220V,10A |
压缩空气 | 5公斤清洁干燥压缩空气,流量100升/分钟 |
机器外壳 | 白色喷塑金属外壳 |
体积 | 670毫米(宽)*1180毫米(深)*1000毫米(含灯高) |
净重 | 140公斤 |