ADT全自动双轴12寸切割机8230 上海衡鹏

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ADT 8230全自动双轴12寸切割机

ADT全自动双轴12寸切割机8230概要：

ADT 8230是一款高效率、高精度、高性能、低成本的双轴(对向)全自动晶圆切割机。

最大切割工件尺寸可达12英寸。

ADT全自动双轴12寸切割机8230特点：

灵活性-支持最大3英寸刀片

支持1.8KW或2.2KW大功率主轴(适用于更高要求的切割)

使用17英寸触摸显示屏，操作界面直观

ADT全自动双轴12寸切割机8230其它重要特点：

切割效率高-大幅降低使用成本

空气主轴

快速自动对齐及切割定位，提高切割效率

高精度的自动刀痕检测及切割质量分析

切割过程数据记录和统计分析

更换刀片时锁定主轴，操作更快速、简便

SECS/GEM通信标准

机器维护时可触及系统的任何区域，带来维护的便利性

ADT全自动双轴12寸切割机8230规格：

最大工作盘尺寸	φ300mm
X轴	切割范围	310mm
	进刀速度输入范围	0.1-600mm/s
Y1&Y2轴	切割范围	310mm
	单步步进量	0.0001mm
	定位精度	Within 0.002/310 mm （Single step accuracy）within 0.002/5
Z轴	最大行程	30mm（对应2英寸刀片）
	移动分辨率	0.0001mm
	重复精度	0.001mm
θ轴	最大旋转角度	380deg
主轴	主轴类型	对向式双主轴
	额定扭矩	0.33（1.8kw）N.m
	最高回转速	6,000 ～60,000(1.8KW)min-1
刀片尺寸	2"
视觉系统	1倍和8倍高清光学相机相机光源：LED（直光 & 斜光）
尺寸（W×D×H）	1220 × 1550 × 1850 mm
重量	Approx 2000kg