ADT 8230全自动双轴12寸切割机
  • 概述
  • 参数
  • 应用范围
  • 资料
  • 相关产品
  • 品牌
  • 视频

    ADT全自动双轴12寸切割机8230概要:


    ADT 8230是一款高效率、高精度、高性能、低成本的双轴(对向)全自动晶圆切割机。

    最大切割工件尺寸可达12英寸。



    ADT全自动双轴12寸切割机8230特点:


    灵活性-支持最大3英寸刀片

    支持1.8KW或2.2KW大功率主轴(适用于更高要求的切割)

    使用17英寸触摸显示屏,操作界面直观



    ADT全自动双轴12寸切割机8230其它重要特点:


    切割效率高-大幅降低使用成本

    空气主轴

    快速自动对齐及切割定位,提高切割效率

    高精度的自动刀痕检测及切割质量分析

    切割过程数据记录和统计分析

    更换刀片时锁定主轴,操作更快速、简便

    SECS/GEM通信标准

    机器维护时可触及系统的任何区域,带来维护的便利性
















    ADT全自动双轴12寸切割机8230规格:


    最大工作盘尺寸

    φ300mm

    X轴

    切割范围

    310mm

    进刀速度输入范围

    0.1-600mm/s

    Y1&Y2轴

    切割范围

    310mm

    单步步进量

    0.0001mm

    定位精度

    Within 0.002/310 mm

    (Single step accuracy)within 0.002/5

    Z轴

    最大行程

    30mm(对应2英寸刀片)

    移动分辨率

    0.0001mm

    重复精度

    0.001mm

    θ轴

    最大旋转角度

    380deg

    主轴

    主轴类型

    对向式双主轴

    额定扭矩

    0.33(1.8kw)N.m

    最高回转速

    6,000 ~60,000(1.8KW)min-1

    刀片尺寸

    2"

    视觉系统

    1倍和8倍高清光学相机 相机光源:LED(直光 & 斜光)

    尺寸(W×D×H)

    1220 × 1550 × 1850 mm

    重量

    Approx 2000kg




关注衡鹏:

qrcode_for_gh_229534a5836f_860.jpg