ADT 8020系列双轴晶圆切割机
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    双轴晶圆切割机8020系列概要


    ADT 8020切割机有两个对向的主轴,可同时切割晶圆,且产量高。这种高精度系统可切割直径最高8"的工件,性能高,运行成本低。



    双轴晶圆切割机8020系列特点:


    灵活:支持最大3"外径的有轮毂和无轮毂刀片

    1.8kW或2.2 kW高功率主轴(适合严苛应用)

    高级视觉系统,支持连续变焦缩放

    19英寸触摸屏显示器,直观操作界面




    双轴晶圆切割机8020系列重要特点:


    气悬浮轴(X)

    快速自动对齐和切割定位,提高产量

    自动刀痕检测和质量分析,实现高精度

    流程数据记录和统计分析

    使用锁定式主轴,更换刀片快速简单

    SECS/GEM平台就绪

    可接近系统所有区域,便于维护




    易于使用

    8020使用ADT直观的新图形用户界面(NUI)进行操作,配备了两个触摸屏:19"主屏幕和17"维护屏。维护屏协助执行系统设置过程、刀片更换和基本的维护操作。












    双轴晶圆切割机8020系列应用范围 :


    The 8020 operates with the ADT intuitive New graphic User Interface (NUI), and includes two touch-screens: a 19” monitor for the main screen and a 17” monitor maintenance screen. The maintenance screen assists with performing system setup procedures, blade change and some basic maintenance operations.