ADT切割机7234概要：
4"，空气轴承主轴，直流无刷，转速高达30krpm。兼容 4"-5" 刀片。覆盖最大8"的圆形晶圆或253mmX 243mm方形产品。
ADT切割机7234设施：
电气：200-240VAC，50/60Hz，单相
气源/N2：700 L/分 @ 5.5 bar
500 L/min 压缩空气，200 L/min 制程气体/N2
主轴冷却水：1.1 L/min厂务端用水
切割用水（去离子水/厂务端用水）：刀片/过程冷却水：最高7L/min
ADT切割机7234系统规格：
工件尺寸：最大∅300 mm或253mmX 243mm方形产品
刀片尺寸：4"-5"
主轴：空气轴承，直流无刷，30 krpm/2.5 kW
尺寸（WXDXH）：1,100 x 1,785 x 1,700 mm
重量：1,350 kg
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