ADT 7232切割机
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    ADT切割机7232概要:


    4",空气轴承主轴,直流无刷,转速高达30krpm。兼容 4"-5" 刀片。覆盖最大8"的圆形晶圆或253mmX 243mm方形产品。



    ADT切割机7232设施


    电气:200-240VAC,50/60Hz,单相

    气源/N2:700 L/分 @ 5.5 bar

    500 L/min 压缩空气,200 L/min 制程气体/N2

    主轴冷却水:1.1 L/min厂务端用水

    制程用水(去离子水):刀片/过程冷却水:最高7L/min



    ADT切割机7232系统规格:


    工件尺寸:最大∅300 mm或253mmX 243mm方形产品

    刀片尺寸:4"-5"

    主轴:空气轴承,直流无刷,30 krpm/2.5 kW

    尺寸(WXDXH):∅200: 965 x 1,460 x 1,700 mm

    重量∅200:1,200 kg