独特的Wx3晶圆处理系统,简化晶圆流程,提高生产率 |
连续数字变焦视觉系统,为多视点提供多种变焦倍率 |
特殊算法,预测刀片磨损率,减少高度测量时间,增加小时产出 |
触摸显示屏,新用户图形界面(NUI) |
雾化晶圆清洗技术,卓越的工艺效果 |
专用磨刀台,自动磨刀 |
内置检测托盘,可执行进程内质量评估 |
独特的多面板处理能力 |
占地面积小 |
可选: 磨刀台金刚石暴露和堵塞预防 |
行程ø200晶圆划片机台型号 | 7222 | 7223 | 7224 |
可容纳最大工作物尺寸 | ø200 | ø200
Rectangular:212 x142 | ø200 |
ø200主轴 | 搭配主轴尺寸 | 2inch | 4inch |
额定输出功率 | 1.2(标准型)kW | 1.2(高扭力型)kW | 2.5(高扭力型)kW |
最高回转数 | 60000rpm | 60000rpm | 30000rpm |
行程 ø300 晶圆划片机台型号 | 7200-300 2” | 7200-300 4” |
可容纳最大工作物尺寸 | Ø300 Rectangular:253 x 243 |
ø200主轴 | 搭配主轴尺寸 | 2inch | 4inch |
额定输出功率 | 1.2(标准型)kW | 2.5(高扭力型)kW |
最高回转数 | 60000rpm | 30000rpm |
X轴 | 最高速率 | 600mm/Sec |
Y轴 | 解析度 | 0.1µm |
重复经度 | 1.0µm |
Z轴 | 解析度 | 0.2µm |
重复经度 | 1.0µm |
θ轴 | 重复经度 | 2.0Arc-sec |
行程 | 350 degree |
环境配置 | 电压 | 220-240 V AC(单相50/60Hz) |
空气消耗量 | 700L/min |
气压 | 5.5Bar |
切割冷却 水消耗量 | 7L/min |
主轴循环冷却 水消耗量 | 11L/min |
其他规格 | ø200尺寸 | 965Wx 1460D x 1700H mm |
重量 | 1200kg |
ø 300尺寸 | 1100Wx 1785D x 1700H mm |
重量 | 1350kg |
主轴循环冷却 水消耗量 | 1.1L/min |