前置挂载安装 2" 空气轴承主轴,60krpm时最高2.4KW。直流无刷电机,闭环速度控制。
兼容 2"-3" 轮毂和无轮毂刀片。覆盖最高 12" 的圆形产品、12" x 9" 方形基板带框架或 12" x 12" 卡盘(不带框架)。
系统配有闭环转向台,针对大面板和多面板进行优化,例如:
• 12"和8"硅晶圆
• PCB、QFN和BGA面板
• 高亮LED封装
• SAW过滤器
电气:200-240VAC,50/60Hz,单相 |
气源:260 L/min @ 5.5 bar |
主轴冷却水:1.1 L/min 厂务端用水 |
切割用水:最高3L/min |
大面积系统配置:最高300mm x 300mm |
刀片尺寸:2"-3" |
主轴:空气轴承,直流无刷,60 krpm/2.4 kW |
大功率2.4kW主轴(可选件) |
尺寸(WXDXH):965×1300×1600 mm |
重量:900 kg |