半自动晶圆解键合照射机STK-8061特点:
可对应晶圆直径:4”& 6”& 8”/8”& 12”
装卸方式:晶圆/承载环手动放置与取出
解键合原理:激光解键合;
激光头:大族,自动扫描
铁环定位: 弹簧定位销
控制单元:基于PLC控制,带7寸触摸屏
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