对象基板 | MAX. W250×L330 (mm) MIN. W50×L50 (mm) |
部件高度 | 上面Upper 10,15,20,25mm 下面Lower 10,15,20,25mm |
输送高度 | 4mm |
氮气供给量 | 99.99%以上 0.4~0.7Mpa 250NL/min以上 |
基板输送高度(通过路径) | 900±20mm |
输入电源 | AC200V-50/60Hz-3φ 27kVA 78A(分时启动) |
设备外形尺寸 | W1310×L3060※1×H1374※2 (mm) |
整机重量 | 约1700kg |
运输速度 | 0.3~1.5m/min |