MALCOM静止型回流炉装置RDT-250EC特点:
节省空间的独立式高性能回流炉
通过采用矩阵加热器,可以针对每个区域调节加热强度
凭借较高的Δt 性能,该单元可以实现各种轮廓
使用触摸面板控制器时,只能从主机上进行操作
通过查看加热器配置,功耗已降低了约 50%
支持最高温度 400℃
MALCOM静止型回流炉装置RDT-250EC规格参数:
対象基板尺寸
250W×330L㎜以下
高さ 保持面上下共15mm以下
装置尺寸
773W×863D×1417H mm
加熱方式
上面 :热风、远红外线辐射并用
下面:远红外线辐射(选项)
冷却方式
外部气体(氮气或空气)通过导入(排气口连动)
附带冷却用流量调整阀门
電源
3相 200V 50/60Hz 10kVA
外部气体
0.3~0.5MPa 100L/min(MAX)
炉内氧浓度
(氮气使用时)
最低100ppm
基板托盘
上面加熱
热风、远红外线加热器:7.2kW(約240W×30格)
※可对基准模组进行偏差设定
下面加熱(选项)
温度精度
常温~80℃ :±3℃
80℃~400℃:±2℃
測定温度
常温~400℃
測定点数
6点
窒素供給機能
流量调整阀门:100ℓ/min
制御用専用ソフト
対応OS:Windows 8.1/10
装置重量
約140㎏
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