RHESCA CSR-5000超薄膜附着强度测试仪概要:
基于JIS R-3255标准,以MICRO SCRATCH法评价光学薄膜、半导体扩散工程、表面改质以及记忆媒体等各种用途的薄膜与基材,或薄膜与界面之间的密着力(附着强度)的超薄膜附着强度测试仪。为成膜研究与测试所必备的测试设备。
CSR-5000超薄膜附着强度测试仪特点:
CSR-5000采用高感度的能够检测出薄膜破坏的MICRO SCRATCH法,测试纳米级别的薄膜的附着强度
可测量膜厚μm以下的超薄膜的密着强度
加热环境下评价可能
镜片等曲面测量可能
可以进行以特定荷重来评价的特定负荷测试
测试部位的设定以及测试后的划伤观察等简单易行
测试不需要花费很多时间(1次测试约1~2分钟)
CSR-5000超薄膜附着强度测试仪的规格参数
荷重检出机构
荷重印加范围
1mN ~1500mN
荷重分解能
0.3mN
10RPM±5% -注
300%FS
剥离检出(垂直方向)
检出信号
加速度信号
频率范围
20Hz ~10kHz
摩擦力检出(水平方向)
传感器励振机构
励振频率
45H
励振振幅
0・5・10・20・40・50・80・
100μm
探针
触针形状
Φ1.6×6.5mm
尖端材质 / 尖端形状
金刚石R 5・10・15・25・50・
蓝宝石R 250・500μm
Z 轴驱动机构
※荷重印加方向
驱动方式
步进马达驱动
驱动范围
20mm
驱动分解能
0.5μm
驱动速度( 测试时)
0 ~20μm/s
驱动速度( 准备时)
1mm/s
试料台XY轴移动机构
千分尺手动调节
移动范围
±6.5mm
Data输出方式
USB
尺寸及重量
W540×D520×H630 (37kg) 含显微镜
电源
AC100V ~240V
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