AL76 Compact等离子清洗机特点:
改善Die Bonding
改善Wire Bonding
改善锡球焊接
改善倒装底部填充(FC Underfill)
改善塑封(Molding)/封胶
AL76 Compact等离子清洗机选项:
进口干泵系统(含相关附件)
信号灯塔-红黄绿三色
额外的处理气体线路-最多至4路气体
旋转台-φ350mm,旋转速度可调
ECR机构
包装,运输
AL76 Compact等离子清洗机规格:
等离子源
2.45Ghz微波等离子源,1200W
腔体
铝.长400mm,宽400mm,深490mm,76L
外观尺寸
长1050mm,宽800mm,高2020mm(含信号灯塔)
处理气体
3路气体+数字MKS流量控制器
真空腔门
铰链门/抽屉式双功能+观察窗
观察窗
UV与微波屏蔽保护
GUI 10.4"触摸屏
Window CE操作系统
AL76 Compact等离子清洗机典型应用:
等离子清洗中的全能型产品,可满足大多数应用。适合大批量生产和实验室使用。
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