ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18特点:
改善Die Bonding
改善Wire Bonding
改善锡球焊接
改善倒装底部填充(FC Underfill)
改善塑封(Molding)/封胶
ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18选项:
进口干泵系统(含相关附件)
信号灯塔-红黄绿三色
额外的处理气体线路-最多至4路气体
旋转台-φ200mm,旋转速度可调
ECR机构
包装,运输
ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18规格:
等离子源
2.45Ghz微波等离子源,600W
腔体
铝.长250mm,宽250mm,深290mm,18L
外观尺寸
长530mm,宽600mm,高550mm
处理气体
1路气体+数字MKS流量控制器
真空腔门
铰链门+观察窗
观察窗
UV与微波屏蔽保护
GUI 7"触摸屏
Window CE操作系统
ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18典型应用:
等离子清洗,适合于小体积产品,小批量生产和实验室使用。
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