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Zeta光学轮廓仪Zeta-600基础参数
型号：Zeta-600
产品：光学轮廓仪/表面轮廓测试系统/LED pss 图像处理设备
品牌：Zeta泽塔
简介：用于PCB/FPC自动计量解决方案
Zeta光学轮廓仪Zeta-600简介
zeta-600光学轮廓仪是一种全自动非接触、快速三维测量系统量身打造的PCB和FPC的需求。它可以处理高达610×510mm样品的各种应用，如孔、粗糙度、导线高度、V-CUT以及膜厚。基于专有的zdot™的zeta-600图像分析技术，对各类样品的表面特征：光滑到粗糙，低反射率，反射率高，透明到不透明。
zeta-600简单操作
zeta3d软件具有简单和直观的用户界面，数据采集和分析。工程师和运营商的一个简短的学习曲线，以更好的生产力。
zeta-600全自动和快速
全集成，全自动化，一键式计量解决方案。高分辨率的三维光学轮廓仪小于36秒，每测量。通孔、粗糙度、导线高度、V-CUT及膜厚不卸载样品和移动到一个新的工具的需要量
610mmx510mm样品的zeta-600最多可以处理610mmx510mm样品。它非常适合PCB/FPC计量需求。
Zeta光学轮廓仪Zeta-600技术规格
1 1 / 3“0.5X耦合摄像镜头
2 2 / 3“0.35X耦合摄像镜头
3静态重复性基于VLSI 0.94μm台阶高度标准，100X / 0.9n
目的，压阶段，与标准zdot成像模式
技术规格：zeta-600
尺寸（mm） 系统（宽）：1003 x 1003 x 1667
重量：500磅（278kg）
zeta-600操作规范
电压：100 - 230伏
电流：4A
操作温度：18-30°C，非冷凝，±°C每小时1
Zeta-600系统的特点
相机选项：1024x768 1280x960，1920x1440
放大倍数：25000x结合光学与数字
照明：两（2）超亮白光LED
机动化阶段：610×510mm XY旅游
Z轴行程：40mm
隔振：内置
真空（可选）：600毫米汞柱
Zeta-600性能规格
计量：＜36秒/网站（zdot™）
电影：每个网站~ 3秒（ZFT）
像素分辨率：0.09μ
民z-step：2 nm与压电阶段13纳米标准Z驱动
z轴分辨率：1Åzsi选项
13纳米标准zdot
±Z精度：0.5%
repeatability1：±30 nm（1σ）
Zeta-600可用于任何类型测量的多模式光学
Zeta-600提供几种先进的成像技术：
·zdot创新三维成像是我们所有的光学轮廓仪的标准。的zdot技术使真彩色成像和13nm步进分辨率。
·ZIC增强微分干涉相衬成像是伟大的纳米级表面粗糙度甚至查看4.5mm场。
·ZSI剪切干涉仪提供了埃水平垂直分辨率在平滑的表面在一个大的视场。
·ZX5垂直扫描干涉仪是理想的测量纳米级的高度来看4.5mm场。
·可视范围的综合光谱反射薄膜厚度、反射率和折射率的测量。
