MET80L/MET120L晶圆观察显微镜概要：
MET80L/MET120L 晶圆观察显微镜采用灵活的模块化设计、不仅确保卓越的光学性能，还具有安全稳定的机架结构，使之低重心、高刚性、高稳定性，极大的提高了显微镜的抗振能力，使 MET80L/MET120L 晶圆观察显微镜可广泛的应用于工业检测及大型试样检测，特别是 LCD 液晶屏行业、晶圆行业的理想检测工具。
MET80L/MET120L晶圆观察显微镜特点：
采用前置低位粗微同轴调焦系列，配合涡轮涡杆的自锁结构，使之在超大负荷工作下也不会出现下滑现象，
以及长期使用的可靠性
超大行程移动平台，最大移动范围: 305mmX305mm, 可适用于 12”的晶圆、LCD 或FPD 检测，
也可用于小尺寸样品的陈列检测，通过切换离合器手柄可实现全行程范围内的快速移动。
多样的照明器可供选择：12V50W 卤素灯明场落射照明，12V50W 卤素灯明暗场落射照明，LED明场落射
照明，可以根据需要选择，电器全部内置主机，方便操作。
高精度物镜转换器：采用精密轴承设计，秉承了麦克奥迪轻巧舒适的手感和良好的重复定位精度及同心精度。
MET80L/MET120L晶圆观察显微镜的规格参数
MET80L
MET120L
光学系统
CCIS 无限远色差校正光学系统
目镜
高眼点平场大视野，±5D 视度调节，10X/20，明场可选（10X/22）
物镜
长距明场金相物镜 5X/0.13，10X/0.30，20X/0.40
观察筒
30°倾斜铰链式双目镜筒；30°倾斜铰链式三目镜筒
双目镜筒瞳距
55~75mm
样品最大厚度
≥ 38mm
物镜转换器
内定位五孔物镜转换器
中间体
12V50W 卤素灯明场落射照明，
12V50W 卤素灯明暗场落射照明，
LED 明场落射照明，
全部采用反射式柯拉照明，带可调式可变视场光栏和可变孔径光栏，
可配偏光附件
偏光附件
附件式，检偏器可 360 度旋转，消光比≥ 10000
粗微动调焦装置
粗微同轴调焦，粗动调焦 3mm/ 转，微动调焦 0.1mm/ 转，0.001mm/ 格。
机械移动载物台
移动范围 : 8”X 8”mm
选配：圆晶台板
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