JEL SVCR3330S3軸円筒座標型クリーンロボット
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            真空対応3軸円筒座標型ロボットです。
            真空チャンバ内で4 kg以下のトレイをツインチャックでの搬送に使用できます。
            トランスファチャンバの中心に配置し、各処理室へのウェーハの受渡しができます。
            従来型LVHRに比べコストパフォーマンスに優れます。

    • アーム関節部には、磁性流体シール装備
    • 真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用
    • クリーン対応:アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備
    • 動作モニター装備
    • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
    • 全軸2相ステッピングモータ使用
    • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
    • モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能
    • チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
    • ウェーハ保持:落し込み、自重グリップチャック
    • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能


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