JEL SVCR32603軸円筒座標型クリーンロボット
真空対応3軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
従来型SVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。
従来型SVHRと取付互換をもたせた設計の為、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。
- アームバリエーション: 160 mm, 190 mm, 260 mm, 330 mm
- アーム関節部には、磁性流体シール装備
- 真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用
- クリーン対応:アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備
- 動作モニター装備
- 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸2相ステッピングモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能
- チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
- ウェーハ保持:落し込み、自重グリップチャック
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能