JEL SCR3160CSN3軸円筒座標型クリーンロボット
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            スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。
            低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ~300 mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。

    • 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上
    • アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮
    • バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載
    • 従来機と互換性(取付互換、性能互換)があり、載せ替えが可能
    • 高剛性・アーム第3関節換算3 kg (リストブロック、チャック、ワーク含む)
    • アームバリエーション:100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
    • 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能
    • ベルヌーイチャックを搭載可能(オプション)


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