JEL GCR42104軸水平多関節型クリーンロボット
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            スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボットで、300 mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
            EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。300 mmウェーハのEFEMの場合、2Port対応です。
            アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

    • ロボットのみで2FOUP対応可能
    • 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
    • 動作モニター装備
    • 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
    • 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
    • S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
    • ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化
    • 従来機GHR4000タイプと比較して1.8倍高速
    • ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック
    • チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
    • 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能


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