JEL GCR42104軸水平多関節型クリーンロボット
スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボットで、300 mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。300 mmウェーハのEFEMの場合、2Port対応です。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
- ロボットのみで2FOUP対応可能
- 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
- 動作モニター装備
- 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化
- 従来機GHR4000タイプと比較して1.8倍高速
- ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック
- チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能