OKAMOTO PNX332Bファイナルポリッシャー特長:
300mmファイナルポリッシャーのベストセラー。
原子レベルの超鏡面・超高輝加工を実現します。
3テーブルあるポリッシュステージで、中研磨から仕上げ研磨まで6枚を同時研磨、
インデックス搬送方式で4枚を同時搬送する高生産機です。
ポリッシュ取り代量の多い再生ウエーハや貫通電極(TSV)プロセスにも最適。
PNX312は全自動1テーブルタイプです。
OKAMOTO PNX332Bファイナルポリッシャー仕様:
最大加工径
Ф300mm
定盤径
Ф800mm
同時研磨枚数
2枚
定盤回転数
10~80min-1
本体質量
8800kg
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