OKAMOTO GDM300ウェーハグラインディング概要:
研削/ポリッシュ工程とマウント/ディテープ工程を一貫処理することにより薄ウェーハ製品に適しています。
OKAMOTO GDM300ウェーハグラインディング特長:
バックグラインディングからウェーハマウントまでの一連の工程をインラインで行います。
インラインで人手を介さないことで25um以下のウェーハの量産工程に対応しています。
2枚同時にストレスリリーフを行うことで、スループット倍増を達成しました。
薄ウェーハプロセスソリューションとして必要不可欠な、エッジトリミング加工を機内で行います。
(オプション)
デュアルインデックステーブル方式により、研削ステージと完全分離されていることで、
裏面研削後にクリーン度を要求されるTSV, やMEMSプロセスにも対応しています。
Ra1Å以下の超輝度、超鏡面精度の加工も実現可能です。
OKAMOTO GDM300ウェーハグラインディング仕様:
最大加工径
φ300mm
砥石軸回転数
0~3000min-1
砥石軸モータ
5.5/4 kW/P
研削送り速度
1~999μm/min
スピンドル軸数
2
ワーク軸回転数
1~300min-1
砥石寸法(外径)
ボリッシュバッド径
φ240mm
ボリッシュバッド回転数
10~320min-1
本体質量
8,200kg
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