OKAMOTO GDM300ウェーハグラインディング
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    OKAMOTO GDM300ウェーハグラインディング概要:

    研削/ポリッシュ工程とマウント/ディテープ工程を一貫処理することにより薄ウェーハ製品に適しています。


    OKAMOTO GDM300ウェーハグラインディング特長


    バックグラインディングからウェーハマウントまでの一連の工程をインラインで行います。

    インラインで人手を介さないことで25um以下のウェーハの量産工程に対応しています。

    2枚同時にストレスリリーフを行うことで、スループット倍増を達成しました。

    薄ウェーハプロセスソリューションとして必要不可欠な、エッジトリミング加工を機内で行います。

    (オプション)

    デュアルインデックステーブル方式により、研削ステージと完全分離されていることで、

    裏面研削後にクリーン度を要求されるTSV, やMEMSプロセスにも対応しています。

    Ra1Å以下の超輝度、超鏡面精度の加工も実現可能です。





    OKAMOTO GDM300ウェーハグラインディング仕様: 


    最大加工径

    φ300mm

    砥石軸回転数

    0~3000min-1

    砥石軸モータ

    5.5/4 kW/P

    研削送り速度

    1~999μm/min

    スピンドル軸数

    2

    ワーク軸回転数

    1~300min-1

    砥石寸法(外径)

    φ300mm

    ボリッシュバッド

    φ240mm

    ボリッシュバッド回転数

    10~320min-1

    本体質量

    8,200kg


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