MITO DENKO PLD-M複合型PLD装置
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    複合型PLD装置PLD-M特徴:


    豊富な販売実績に基づく設計により、安定した運用を実現できます

    他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることが使用可能です

    最大φ2"のサブストーリートサイズに対応し、φ2"専用のランプの採用することで、

    広範囲な圧力での実験が可能

    大面積PLDに搭載したシーケンスにより最大φ2"の基板サイズに均一な分布を提供するオプション、

    さまざまなオプションを選択できます



    *詳細については、お問い合わせください






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