MITO DENKO RHEED-1000高速電子回折システム
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超高真空対応可能、簡単に差動排気型に変更可能 |
最大30KV対応でコンパクトなボディを採用し、小型チャンバーに取付最適、フランジにΦ34ICFを採用 |
リモートコントロールボックスを使用せずに、PCから制御します |
最大30kVのコンパクトHV電源 |
最大1Paシングルディファレンシャルポンピング |
100Paまでの高圧で使用可能* 2段式差動ポンピングによる(オプション) |
電子ビームがマルチスポットスキャンにより同条件の多重回折モニター(オプション) |
*詳細については、お問い合わせください