SEMI标准晶圆的标准尺寸

2英寸单晶硅晶圆

3英寸单晶硅晶圆

100mm单晶硅晶圆

125mm单晶硅晶圆

直径（mm）

2.000（±0.015）

50.80（±0.38）

3.000（±0.015）

    76.20（±0.63）

——

100.000（±0.50）

——

125.000（±0.50）

厚度（中心点）（mm）

0.0110（±0.0010）

279（±25）

0.0150（±25）

381（±25）

——

525（±20）

625（±20）

——

625（±20）

定向平面长（mm）

0.625（±0.065）

15.88（±1.65）

0.875（±0.125）

22.22（±3.17）

——

32.5（±2.5）

——

42.5（±2.5）

第二定向平面长（mm）

0.315（±0.065）

8.00（±1.65）

0.440（±0.060）

11.18（±1.52）

——

18.05（±2.0）

——

27.5（±2.5）

150mm单晶硅晶圆

200mm单晶硅晶圆

300mm单晶硅晶圆

直径（mm）

150.000（±0.20）

200.000        （±0.20）

300.000（±0.20）

厚度（中心点）

（mm）

675（±20）

725（±20）

775（±20）

定向平面长（mm）

57.5（±2.5）

槽口深度1.0

（0.25，-0.00）

角度90（5，-1）

槽口深度1.0（0.25，-0.00）

角度90（5，-1）

第二定向平面长

（mm）

37.5（±2.5）

       ——

——