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SEMI标准晶圆的标准尺寸2022-08-16  浏览次数:

SEMI标准晶圆的标准尺寸




2英寸单晶硅晶圆

3英寸单晶硅晶圆

100mm单晶硅晶圆

125mm单晶硅晶圆

直径

(mm)

2.000(±0.015)

50.80(±0.38)

3.000(±0.015)

    76.20(±0.63)

——

100.000(±0.50

——

125.000(±0.50)

厚度(中心点)

(mm)

0.0110(±0.0010)

279(±25)

0.0150(±25)

381(±25)

——

525(±20)

625(±20)

——

625(±20)

定向平面长

(mm)

0.625(±0.065)

15.88(±1.65)

0.875(±0.125)

22.22(±3.17)

——

32.5(±2.5)

——

42.5(±2.5)

第二定向平面长

(mm)

0.315(±0.065)

8.00(±1.65)

0.440(±0.060)

11.18(±1.52)

——

18.05(±2.0)

——

27.5(±2.5)




150mm单晶硅晶圆

200mm单晶硅晶圆

300mm单晶硅晶圆

直径

(mm)

150.000(±0.20)

200.000        (±0.20)

300.000(±0.20)

厚度(中心点)

(mm)

675(±20)

725(±20)

775(±20)

定向平面长

(mm)

57.5(±2.5)

槽口深度1.0

(0.25,-0.00)

角度90(5,-1)

槽口深度1.0(0.25,-0.00)

角度90(5,-1)

第二定向平面长

(mm)

37.5(±2.5)

       ——

——













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