OKAMOTO GNX300B晶圆研磨机
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    OKAMOTO GNX300B晶圆研磨机特点: 


    GNX300B拥有BG研磨专利技术。

    日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖

    主轴机械精度可调

    冈本自产铸金一体化结构,不易老化,精度持久

    润滑系统有完善防护,避免异物进入造成磨损

    适用晶圆尺寸:6”、8”、12     最大晶圆厚度: 1000μm

    可切换全自动、半自动操作模式

    17 寸触控操作与监控屏,监控气压、电流、水流、厚度等

    研磨耗材损耗小,加工成本低廉

    研磨硅屑细小,冲洗更干净



    OKAMOTO GNX300B晶圆研磨机规格参数:


    规格

    GNX200B

    GNX300B

    最大加工直径

    Ф200㎜

    Ф300㎜

    主轴转速范围

    0~3600rpm

    0~3000rpm

    主轴驱动电机功率

    2.2kW/4kW

    5.5kW/4kW

    主轴进给速度范围

    1~999μm/min

    主轴数

    2

    工作盘转速范围

    1~300rpm

    研磨轮尺寸

    Ф250㎜

    Ф300㎜

    设备整重

    3900kg

    5700kg



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