OKAMOTO GNX300B晶圆研磨机特点:
GNX300B拥有BG研磨专利技术。
日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖
主轴机械精度可调
冈本自产铸金一体化结构,不易老化,精度持久
润滑系统有完善防护,避免异物进入造成磨损
适用晶圆尺寸:6”、8”、12” 最大晶圆厚度: 1000μm
可切换全自动、半自动操作模式
17 寸触控操作与监控屏,监控气压、电流、水流、厚度等
研磨耗材损耗小,加工成本低廉
研磨硅屑细小,冲洗更干净
OKAMOTO GNX300B晶圆研磨机规格参数:
规格
GNX200B
GNX300B
最大加工直径
Ф200㎜
Ф300㎜
主轴转速范围
0~3600rpm
0~3000rpm
主轴驱动电机功率
2.2kW/4kW
5.5kW/4kW
主轴进给速度范围
1~999μm/min
主轴数
2
工作盘转速范围
1~300rpm
研磨轮尺寸
Ф250㎜
设备整重
3900kg
5700kg
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