MITO DENKO_MBE设备MBE-260 上海衡鹏

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半导体
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绝缘劣化测试
振动试验台
焊接材料
生产设备

MITO DENKO MBE-260MBE装置

MBE装置MBE-260概要：

该MBE设备是超高真空装置，可以用从外部引入的激光在真空中激发，并将材料沉积在衬底上。

MBE装置MBE-260规格参数：

Configure		Spec
Processing room and vacuum exhaust system	Chamber Sharp	φ260mm Spherical SUS
	Reaching vacuum	Less than6.7×10-7Pa (5×10-9Torr)
	Ceramic bearing turbo pump	250L/s
Target revolution unit	φ20mm×6 axes Rotation / revolution motor drive (PC control)
Substrate heating unit	Infrared lamp substrate heating unit (can be changed to semiconductor laser substrate heating unit)
	Size of substrate	10mm
	Maximum heating temperature	Above 800℃
Common specification	Power supply / control rack (JIS standard compliant) integrated chamber frame PLD automatic control system (PC and control software)