RHESCA CSR-5000超薄膜附着强度测试仪
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    RHESCA CSR-5000超薄膜附着强度测试仪概要:

    基于JIS R-3255标准,以MICRO SCRATCH法评价光学薄膜、半导体扩散工程、表面改质以及记忆媒体等各种用途的薄膜与基材,或薄膜与界面之间的密着力(附着强度)的超薄膜附着强度测试仪。为成膜研究与测试所必备的测试设备。


    CSR-5000超薄膜附着强度测试仪特点:


    CSR-5000采用高感度的能够检测出薄膜破坏的MICRO SCRATCH法,测试纳米级别的薄膜的附着强度

    可测量膜厚μm以下的超薄膜的密着强度

    加热环境下评价可能

    镜片等曲面测量可能

    可以进行以特定荷重来评价的特定负荷测试

    测试部位的设定以及测试后的划伤观察等简单易行

    测试不需要花费很多时间(1次测试约1~2分钟)

    CSR-5000超薄膜附着强度测试仪的规格参数

    荷重检出机构   

    荷重印加范围

    1mN ~1500mN

    荷重分解能

    0.3mN

    10RPM±5% -注

    300%FS

    剥离检出(垂直方向)      

    检出信号

    加速度信号

    频率范围

    20Hz ~10kHz

    摩擦力检出(水平方向)

    检出信号

    检出信号

    频率范围

    20Hz ~10kHz

    传感器励振机构

    励振频率

    45H

    励振振幅

    0・5・10・20・40・50・80・

    100μm

    探针

    触针形状

    Φ1.6×6.5mm

    尖端材质 / 尖端形状

    金刚石R 5・10・15・25・50・

    100μm

    尖端材质 / 尖端形状

    蓝宝石R 250・500μm

    Z 轴驱动机构

    ※荷重印加方向

    驱动方式

    步进马达驱动

    驱动范围

    20mm

    驱动分解能

    0.5μm

    驱动速度( 测试时)

    0 ~20μm/s

    驱动速度( 准备时)

    1mm/s

    试料台XY轴移动机构

    驱动方式

    千分尺手动调节

    移动范围

    ±6.5mm

    Data输出方式

    USB

    尺寸及重量

    W540×D520×H630 (37kg) 含显微镜

    电源

    AC100V ~240V

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