ALPHAPLASMA AL76 Compact等离子清洗机
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    AL76 Compact等离子清洗机特点:


    改善Die Bonding

    改善Wire Bonding

    改善锡球焊接

    改善倒装底部填充(FC Underfill)

    改善塑封(Molding)/封胶


    AL76 Compact等离子清洗机选项


    进口干泵系统(含相关附件)

    信号灯塔-红黄绿三色

    额外的处理气体线路-最多至4路气体

    旋转台-φ350mm,旋转速度可调

    ECR机构

    包装,运输



    AL76 Compact等离子清洗机规格


    等离子源

    2.45Ghz微波等离子源,1200W

    腔体

    铝.长400mm,宽400mm,深490mm,76L

    外观尺寸

    长1050mm,宽800mm,高2020mm(含信号灯塔)

    处理气体

    3路气体+数字MKS流量控制器

    真空腔门

    铰链门/抽屉式双功能+观察窗

    观察窗

    UV与微波屏蔽保护

    GUI 10.4"触摸屏

    Window CE操作系统

    AL76 Compact等离子清洗机典型应用:


    等离子清洗中的全能型产品,可满足大多数应用。适合大批量生产和实验室使用。


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