ALPHAPLASMA AL18等离子清洗机
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    ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18特点:


    改善Die Bonding

    改善Wire Bonding

    改善锡球焊接

    改善倒装底部填充(FC Underfill)

    改善塑封(Molding)/封胶


    ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18选项


    进口干泵系统(含相关附件)

    信号灯塔-红黄绿三色

    额外的处理气体线路-最多至4路气体

    旋转台-φ200mm,旋转速度可调

    ECR机构

    包装,运输



    ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18规格


    等离子源

    2.45Ghz微波等离子源,600W

    腔体

    铝.长250mm,宽250mm,深290mm,18L

    外观尺寸

    长530mm,宽600mm,高550mm

    处理气体

    1路气体+数字MKS流量控制器

    真空腔门

    铰链门+观察窗

    观察窗

    UV与微波屏蔽保护

    GUI 7"触摸屏

    Window CE操作系统

    ALPHAPLASMA等离子清洗机AL18典型应用:


    等离子清洗,适合于小体积产品,小批量生产和实验室使用。


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