致力于引进国外高端制造设备、精密检测仪器、先进生产材料为中国电子电器生产企业服务，以助于电子制造企业稳定提高产品品质。
晶圆自动传送烤箱HCM-100特点简介： |
在常规环境下使用，能够确保烘箱内部净化等级达到Class 100 |
采用全周氩弧焊，耐高温硅胶迫紧，SUS310#不锈钢电加热器，防止机台本身产生微尘 |
内胆采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板， 并经碱性苏打水清洁，去油污，避免烘烤时产生粉尘颗粒 |
采用无氧设计，确保腔体内部在工作时可达到20PPM以下氧浓度环境 |
晶圆自动传送烤箱HCM-100箱体结构： |
烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热器及风道系统组成，结构合理，外型美观大方 |
全周氩弧焊，耐高温硅胶迫紧，SUS310＃不锈钢电加热器，防止机台本身产生微尘 |
内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板， 并经碱性苏打水清洁去油污，避免烘烤时产生微尘 |
中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板， 并经碱性苏打水清洁去油污，及氩弧焊密加工(防污染) |
电热器:采用进口覆套式电加热器 (SHEATHED HEATER)，无尘化电热发生器 |
保温材料:采用正厂中央玻璃纤维公司出品,100K 级高密度高保温板制造 |
洁净度:烤箱内部均采用无尘化配件及材料 |
采用冷凝管外壁水冷降温(门封条水冷降温) |
腔体内采用风冷降温，与夹层快速降温 |
晶圆自动传送烤箱HCM-100规格： |
无尘等级 | Class 100 |
含氧量 | <=20ppm |
温度范围 | +60～ +400℃ |
温度均匀度 | ±2.5℃ at +200℃；±3.5℃ at +350℃；（空载） |
升温速度 | 常温～+400℃，升温速率 > 6℃/min |
温控精度 | ±1℃ （空载） |
层板 | 共2片；烘箱搁板为活动式，搁板承重≥30kg |
工作尺寸 | W966 mm×H715 mm×D588 mm x 1 chamber |
外形尺寸 | W1910 mm×H1930 mm×D1037 mm |
加热功率 | 18KW |
环境条件 | 温度 5～40°C；湿度≤85%R.H |
电源 | AC380V, 三相， 50Hz |
冷却水 | Max 8L/min. |
气压 | 86～106Kpa |
使用条件 | 无强烈振动，无强磁场影响，无腐蚀性气体 箱体周围应留有500mm的空间供设备安装、维修使用 |
