HAPOIN HCM-100高温100级单炉腔无尘无氧烘箱
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    晶圆自动传送烤箱HCM-100特点简介: 


    在常规环境下使用,能够确保烘箱内部净化等级达到Class 100

    采用全周氩弧焊,耐高温硅胶迫紧,SUS310#不锈钢电加热器,防止机台本身产生微尘

    内胆采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,

    并经碱性苏打水清洁,去油污,避免烘烤时产生粉尘颗粒

    采用无氧设计,确保腔体内部在工作时可达到20PPM以下氧浓度环境


    晶圆自动传送烤箱HCM-100箱体结构


    烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热器及风道系统组成,结构合理,外型美观大方

    全周氩弧焊,耐高温硅胶迫紧,SUS310#不锈钢电加热器,防止机台本身产生微尘

    内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,

    并经碱性苏打水清洁去油污,避免烘烤时产生微尘

    中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,

    并经碱性苏打水清洁去油污,及氩弧焊密加工(防污染)

    电热器:采用进口覆套式电加热器 (SHEATHED HEATER),无尘化电热发生器

    保温材料:采用正厂中央玻璃纤维公司出品,100K 级高密度高保温板制造

    洁净度:烤箱内部均采用无尘化配件及材料

    采用冷凝管外壁水冷降温(门封条水冷降温)

    腔体内采用风冷降温,与夹层快速降温



    晶圆自动传送烤箱HCM-100规格 


    无尘等级

    Class 100

    含氧量

    <=20ppm

    温度范围

    +60~ +400℃

    温度均匀度

    ±2.5℃ at +200℃;±3.5℃ at +350℃;(空载)

    升温速度

    常温~+400℃,升温速率 > 6℃/min

    温控精度

    ±1℃ (空载)

    层板

    共2片;烘箱搁板为活动式,搁板承重≥30kg

    工作尺寸

    W966 mm×H715 mm×D588 mm x 1 chamber

    外形尺寸

    W1910 mm×H1930 mm×D1037 mm

    加热功率

    18KW

    环境条件

    温度 5~40°C;湿度≤85%R.H

    电源

    AC380V, 三相, 50Hz

    冷却水

    Max 8L/min.

    气压

    86~106Kpa

    使用条件

    无强烈振动,无强磁场影响,无腐蚀性气体

    箱体周围应留有500mm的空间供设备安装、维修使用


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