HAPOIN CM-100T100级双工作腔无尘烤箱系列
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    晶圆PI胶固化烤箱CM-100T概述 


    晶圆PI胶固化烤箱CM-100T是参照 Federal Standard(FS)209E 无尘等级规格研发制造,广泛应用于电子液晶显示屏、LCD、CMOS、IC、实验室等生产及科研部门。采用平面水平送风,然后经过进口HEPA Filter装置 (特殊风道设计)送风,过滤效率可达99.99%,满足Class 100级无尘规格,排气口为3"φ(附自动启闭风门功能),以达到强烈循环的效果。



    晶圆PI胶固化烤箱CM-100T箱体结构


    烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热器及风道系统部分组装而成,结构合理,外型美观大方

    全周氩弧焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电加热器,防止机台本身产生微尘

    箱体材料:SUS304#不锈钢板

    内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,

    并经碱性苏打水清洁,去油污以避免烘烤时产生微尘

    中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,

    并经碱性苏打水清洁,去油污及氩弧焊密封加工(防污染)

    保温材料:采用正厂中央玻璃纤维公司出品,100K级高密度高保温板制造

    电热器:采用进口覆套式电加热器 (SHEATHED HEATER),为无尘化电热发生器

    洁净度:烤箱内部均采用无尘化配件及材料



    晶圆PI胶固化烤箱CM-100T规格 


    无尘等级

    Class 100

    温度范围

    室温~+250℃

    升温速度

    常温~+200℃, 升温斜率程序可控

    温度均匀度

    ±1%;(空载)

    温度精确度

    ±1℃;(空载)

    工作室尺寸

    W600×H550×D500 mm

    外形尺寸

    W1100×H1700×D1220 mm

    加热功率

    14kw

    层板

    共2片

    环境条件

    温度 5~40℃;湿度 ≤85%R.H

    电源

    AC380v , 三相,50Hz

    气压

    86~106Kpa

    使用条件

    无强烈振动,无强磁场影响,无腐蚀性气体

    箱体周围应留有500mm的空间供设备安装、维修使用


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