HAPOIN AO-2DS FC双工作腔无氧烤箱
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    晶圆烤箱AO-2DS FC概述 


    晶圆烤箱AO-2DS FC针对晶圆产品的连续烘烤,满足测试要求和老化验证需求。同时采用快速风冷设计模块,缩短整个工艺时间。烘烤放置于12英寸和8英寸金属料盒中的晶圆片。



    晶圆烤箱AO-2DS FC箱体结构


    机台结构:单开门,高温硅橡胶密封条密封,底部安装四个方向活动轮

    内壁材质:采用1.5mm厚度SUS304#不锈钢钢板,氩弧满焊,密闭性好;(洁净度高)

    外部材质:采用1.5mm厚度SUS304#不锈钢钢板,氩弧满焊,密闭性好;(洁净度高)

    增强固架:采用5#角钢和4#角钢,部分采用槽型加强板焊接

    保温材质:120K级高密度硅酸铝纤维填充,保温层厚度为100mm

    背部排气孔:Ø34mm.能连接外部管道

    两个腔体的排风管并入一根总管道,然后与客户排风管道相连接

    每个腔内放置一块加强隔板,可以承载30千克以上工件



    晶圆烤箱AO-2DS FC规格 


    型号

    AO-2DS FCNET

    无尘等级

    Class 100

    内胆尺寸

    W600*D500*H610 mm (双工作腔)

    外部尺寸

    W1280xD790xH1720 mm

    功率

    18Kw

    含氧量

    <= 100PPM

    升温速率

    室温~+250℃,45-60分钟(空箱测试)

    温度管控范围

    +70℃~+300℃

    温度控制

    精度±0.5%

    均匀性能

    ±2% (空箱测试)

    保温性能

    炉内达到+250℃,外壁温度不超过40℃

    测试点

    距内胆材料至少100毫米,门至少120毫米

    测试时间

    到达设定温度(恒温状态)后8分钟

    环境条件

    温度 5~40℃;湿度 ≤85%R.H

    电源

    AC380v , 三相,50Hz

    气压

    86~106Kpa

    使用条件

    无强烈振动,无强磁场影响,无腐蚀性气体

    厂务排风管道负压需要达到-200Pa

    箱体周围应留有500mm的空间供设备安装、维修使用


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