ZETA Zeta-380/Zeta-380I光学轮廓仪
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    Zeta-380/Zeta-380I光学轮廓仪概述

    型号:Zeta-380/Zeta-380I

    产品:光学轮廓仪/表面轮廓测试系统

    品牌:Zeta泽塔

    简介:zeta-380i系统是一个完全自动化的检测和计量包装,检查HBLED底物如图案化蓝宝石晶片的优化

     

    Zeta-380/Zeta-380I晶圆检测和计量HBLED

    zeta-380i系统是一个完全自动化的检测和计量包装检验HBLED底物如图案化蓝宝石晶片的优化快扫描缺陷全英寸晶圆为小1μ米直径在2.5分钟。使用缺陷的地图审查与高分辨率的三维光学轮廓仪的缺陷,小于30秒每缺

     

    Zeta-380/Zeta-380I简单的操作

    简单的配方和缺陷检查结合自动缺陷审查使用缺陷地图文件

    完成的zeta-380i包可以配置所有的软件和硬件需要全面的缺陷检测和分析–以及Zeta的证明光学技术测量和报告系统的尺寸检测- >检讨- >措施>分类

    缩短过程反馈的前置时间,节省了宝贵的时间。的zeta-380i配备自动缺陷审查功能节省了时间和简化了缺陷分析

     

    zeta-380i 3D图像分析为大多数缺陷的答案。这减少了需要审查的耗时和昂贵的原子力显微镜或扫描电镜分析的缺陷的数量。


    Zeta-380/Zeta-380I系统的特点

    相机选项:640x4801024x768 1280x960

    放大倍数:35000x结合光学与数字

    照明:三(3)超亮白光LED

    机动化阶段:150mm×150mm XY旅游

    Z轴行程:40mm


    Zeta-380/Zeta-380I光学轮廓仪技术规格

    Zeta-380/Zeta-380I缺陷检测

    尺寸(mm

    系统(宽):1000 x 860 x 840

    计算机:381×457×102

    监视器:596×449×240

    总重量:145/ 65公斤

     

    Zeta-380/Zeta-380I操作规范

    电压:100 - 230

    电流:4A

    操作温度:18-30°C,非—

    凝结,每小时1°C

    1 1 / 30.5X耦合摄像镜头

    2 2 / 30.35X耦合摄像镜头

    3静态重复性基于VLSI 0.94μm台阶高度标准,100X / 0.9n

    目的,压阶段,与标准zdot成像模式

     

    Zeta-380/Zeta-380I性能配置

    缺陷:150秒为一个完整的4英寸圆片

    ~ PSS计量:30/网站

    三维缺陷审查:~ 30/站点的典型(zdot

    ~ 10/网站zsi

    像素分辨率:0.09μm 0.5X耦合器和100

    z-step2 nm可压阶段

    13纳米与标准Z驱动器

    z轴分辨率:1Åzsi选项

    13纳米标准zdot

    repeatability37海里(1σ


    Zeta-380/Zeta-380I光学轮廓仪用于任何类型的缺陷的通用光学

    ·zeta-380i可与多种先进的成像技术,以符合您的要求:

    ·zdot创新三维成像是我们所有的光学轮廓仪的标准。的zdot技术与我们独特的通过晶片照明方案使准确计量PSS撞锥上的圆顶,平或PR颠簸

    ·ZDC增强微分干涉相衬成像是伟大的纳米级表面粗糙度

    ·ZSI剪切干涉仪提供了埃水平垂直分辨率

    ·ZX5垂直扫描干涉仪是理想的测量纳米级的高度大视场超过

    Zeta-380/Zeta-380I系统信息

    缺陷检测

    缺陷扫描可以优化的吞吐量和灵敏度要求的基础上。

    生产扫描可以运行2.5分钟,快4英寸圆片。该软件可以zeta3d

    基于尺寸、强度和纵横比的缺陷型缺陷的研究。

     

    PSS计量

    预置的食谱可以优化锥,圆顶或平顶结构。大视场转换成一个更大的统计数据集从数百个凸块。与<< 30秒的扫描时间和7nm的重复性,Zeta 380i提供最快、最准确的过程控制反馈与竞争技术相比。


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