ZETA Zeta-20光学轮廓仪
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    Zeta-20光学轮廓仪概述:

      型号:Zeta-20 

      产品:光学轮廓仪/表面轮廓测试系统

      品牌:Zeta泽塔 

      简介:最顶级的3D成像及测试系统 (为用户量身打造的表面轮廓测量设备,是表面量测领域的最佳选择 )

    Zeta-20光学轮廓仪特点:

     功能齐全,操作简易,用途广泛的Zeta-20

     ZDotTM专利技术擅于对高粗糙度、低反射率的表面进行成像分析

      ·具有防反射涂层的太阳能电池片

      ·图形化/蚀刻的LED基板

      ·生物微机电、微机电系统和微流体槽

      ·透明的多表面样品成像

     Zeta-20可快速获取数据

      ·可配置快于10秒扫一幅三维图像的采集速度

      ·简明易学的软件操作界面

     Zeta-20具强大的三维分析功能

      ·台阶高度、粗糙度、面积、体积、角度及其它表面属性

      ·数据输出格式与常见的第三方分析软件可兼容

     Zeta-20高度的灵活性

      测量复杂的表面特征

      从深槽到金刚石钢线,Zeta-20强大的成像能力可对各种复杂表面进行测量。通常这些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而无法用其它设备测量。

     Zeta-20选项配置齐全

      在科研过程中所涉及的样品表面类型往往难以预测。因此,Zeta-20使用模块化设计理念,为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求。

      ·薄膜厚度光谱仪

      ·可测量纳米级粗糙度的QDIC/Nomarski选项

      ·iX5干涉物镜

      ·Z轴分辨率高达2nm的压电陶瓷载台

      ·倾斜载台和真空吸附卡具

      ·自动特征提取和测量软件

      ·自动表面面积测量、统计分析 ...以及其它众多选项!


    Zeta-20表面轮廓测试系统技术规格

     Zeta-20性能配置

      数据获取: 小于10秒(200步扫描)

      3D扫描: 每秒大于30步

      像素分辨率: 0.031μm (1X耦合镜、150X物镜)

      Z轴分辨率: 0.002 μm (压电陶瓷载台)

      重复性(1σ): 0.006 μm (压电陶瓷载台和防震桌)

     Zeta-20标准功能

      相机选项: 640x480, 1024x768,

      1280x960像素

      放大倍率: 45000X (光学加数字)

      照明: 双重高亮度白光LED

      手动载台: 100mm x 100mm XY移动距离

      Z轴移动距离:40mm

     Zeta-20产品尺寸

      显微镜: 305 x 406 x 559

      计算机: 381 x 457 x 102

      显示器: 596 x 449 x 240

      总重量: 65 lbs/29.5 kg

     Zeta-20操作环境

      电压: 100 - 230 VAC

      电流: 2A

      操作温度: 18 - 30oC, 非冷凝,± 1oC 每小时


    Zeta-20可在特定行业的测量应用

     太阳能电池片表面分析:

     ·自动测量栅线的高度、宽度和体积

     ·单晶硅和多晶硅表面面积和绒面分析

     ·氮化硅防反射层薄膜厚度测量

     ·多点、自动栅线测量

     ·156mm太阳能电池片真空吸附载台

     LED 和图形化蓝宝石基板(PSS)分析

     ·自动测量PSS高度、尺寸和周期

     ·分析光阻和蚀刻后PSS特征

     ·自动定位和测量外延后Mesa的粗糙度

     ·适用于2"、4"和6"晶圆的真空载台

     微流体和微机电的测量分析

     ·透明的多层表面轮廓测量

     ·深槽、深井以及其它高纵深比的特征点测量

     ·灵活的、可自定义的横截面及测量点的设置 

     简便、易用的测量方法

     ·自动载物台支持多点测量序列和三维图像拼接

     ·自动坡度和波度补偿

     ·自动将待测表面调成水平

     ·自动测量高度、尺寸、角度、面积和体积

     ·自动测量线粗糙度和面粗糙度

     


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